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    • 白光干涉儀

      產品用途: 結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡,結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序,兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點,可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量,適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含:玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。

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